Ansökan

Oxidationsdiffusionsugnen är en nyckelprocessutrustning för produktion av PV -celler. Den blandar och diffunderar spårmängder av bor, fosfor och andra element på kiselskivan vid höga temperaturer för att framställa PN -korsningar och komponerar integrerade kretsar från den. Det kan också användas för att framställa Siox -filmer på ytan av kiselskivan för att skydda wafers. Det är vanligt att använda termoelement som mäter både de inre och yttre delarna av ugnen för att kontrollera den inre temperaturen på diffusionsugnen som kan utföra oxidationsprocessen. Varje specificerad temperaturzon har en yttre och inre termoelement för att se till att måttresultaten är tillförlitliga. Multipoint Noble Metal Quartz -termoelementen används för att mäta skivtemperatur, den har vanligtvis 3 ~ 9 måttpunkter, vilket representerar skivtemperaturen exakt.

Produktbeskrivning

För detta ändamål har Duchin utvecklat proprietära tekniker och produkter såsom multipoints ädla metallkvarts termoelement för temperaturmätning av hela sektionen i diffusionsugnen, en kalibreringsanordning för flerpunktstermoelement.

Produkten har vissa egenskaper med tillförlitlig temperaturmätning, hög noggrannhet, god stabilitet, snabb termisk respons, anti-interferens, hög och låg temperatur påverkan motstånd, lång livslängd och så vidare. De tekniska parametrarna för halvledarprofilens termoelement är följande:

Tekniska parametrar	Halvledarprofil
Typ	S,R
Tråd- eller mims diameter	φ0.35~0.5
Working Temp (examen)	0~1100
Noggrannhet (grad)	±1.0
Skyddsrörets längd (mm)	Mindre än eller lika med 4000
Skyddsrörets diameter (mm)	φ12~18
Skyddsrörsmaterial	Kvarts
Hett slutstruktur	Utsatt
Antal poäng	3 ~ 6 poäng
Uppsägning	Liten kontakt
Kompensationsledning	SC {{0}} × 0.5fpf
Strukturegenskaper	Att montera T/C i kombination för varje punkt är ganska svårt