Profil Termoelement|S/R-typ halvledarugn Wafer temperatursensor
video
Profil Termoelement|S/R-typ halvledarugn Wafer temperatursensor

Profil Termoelement|S/R-typ halvledarugn Wafer temperatursensor

Värmetemperaturområde: Ambient-1100 grader
Max uppvärmningshastighet: 15 grader /min
Max kylhastighet: 5 grader/min
Kontrollnoggrannhet: ±2 grader
Temperaturenhet: ±0,5 grader /760 mm

 

1. Kärnproduktpositionering

Vårprofil termoelementär en professionell temperatursensor med flera-punkter speciellt utvecklad för halvledar- och solcellsindustrin. Den är installerad direkt inuti hög-temperaturugnar (diffusionsugnar, oxidationsugnar, glödgningsugnar) för att noggrant mäta temperaturfördelningen i realtid för kiselskivor, vilket ger tillförlitliga termiska profildata för processkontroll och kvalitetssäkring.

2. Viktiga produktfördelar

Övervakning av hög-termisk profilStöder 3–9 fler-punktstemperaturmätning, levererar exakt temperaturdata över hela ugnszonen för att eliminera döda fläckar och säkerställa jämn uppvärmning av silikonskivor.

Överlägsen stabilitet och hållbarhetTillverkad av högkvalitativa termiska-stabila material, erbjuder utmärkt linjäritet, minimalt mätfel och starkt motstånd mot termisk stöt och elektromagnetisk interferens, vilket uppfyller produktionskraven för långa-cykler.

Ren och process-Vänlig designOptimerad för den rena miljön med hög-temperatur och låg-kontamination i halvledarugnar, vilket förhindrar partikelförorening och negativa effekter på tillverkningsprocesser för wafer.

Mycket anpassningsbar för ugnskompatibilitetAnpassningsbar sondlängd, diameter, mantelmaterial och installationsmetod för att perfekt matcha den rumsliga layouten och de tekniska specifikationerna för olika ugnsmodeller.

3. Teknisk specifikationstabell

Teknisk prestanda Diffusionsugnsprofil termoelement Oxidationsugnsprofil termoelement
Typ av examen S, R K, N
Tråd/manteldiameter φ0,35~0,5 mm φ2~4 mm
Drifttemperaturområde 0~1100 grader 0~950 grader
Temperaturnoggrannhet ±1,0 grader ±1,5 grader eller 0,4 % t
Slidans längd Mindre än eller lika med 4000 mm Mindre än eller lika med 4000 mm
Skidans diameter φ12~18 mm φ14~22 mm
Mantelmaterial Kvarts 310S / 321 rostfritt stål
Mätning av slutstruktur Exponerad spets Isolerad spets
Antal mätpunkter 3~6 poäng 3~9 poäng
Anslutningstyp Miniatyrkontakt Miniatyrkontakt
Kompensationskabel SC-2x0,5FPF KX(NX)-2x0,5FPF
Monteringsfunktion Fler-punktssammansättning är komplex Fler-punktstermoelement kan kombineras fritt

4. Typiska tillämpningar

Vårprofil termoelementanvänds ofta i hög-temperaturövervakning och kontroll för:

Halvledardiffusionsugnar

Halvledaroxidationsugnar

Glödgningsugnar

Ugnar för produktion av fotovoltaiska celler

Annan processutrustning för hög-temperatur som kräver termisk profilmätning

Produktdetaljer

 

product-750-750
product-750-750
Våra kunder

 

product-1214-619

 

Insikter i vårt företag

 

202601080922124002
202512221655282542
product-750-560
product-750-560
product-750-560
product-750-560
product-750-560
product-750-560

 

Insikter i vår produktion

 

product-750-1000

Manuell svetsning

product-750-1000

Automatisk svetsning

product-750-1000

Isolationsprovning

product-750-1000

Lasermärkning

product-750-1000

Lagerhantering

product-750-1000

Termoelementmontering

product-750-1000

Vakuumläckagedetektering

product-750-1000

Ytpolering

 

Kvalitetscertifieringar

 

product-750-1040
product-750-1040
product-750-1040
product-750-1040
product-750-1040
product-750-1040
product-750-1040
product-750-1040

Populära Taggar: profil termoelement|s/r typ halvledarugn wafer temperatursensor, Kina profil termoelement|Tillverkare av temperatursensor för s/r-typ halvledarugn, fabrik

Skicka förfrågan